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第九三九章 光刻机的现状
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八五年,机电部(如今的工Y部)45所研制成功分步光刻机样机,中K院沪海光学精密机械研究所研制的“扫描式投影光刻机“通过鉴定,采用的都是436纳米G线光源,制程工艺达到1.5um,认为均达到GCA生产的4800DSW水平,为国内大规模集成电路专用设备填补了一项空白,这是国内第一台分步投影式光刻机,在这
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